粗糙度、輪廓儀
SuperView W1 光學 3D 表面輪廓儀
SuperView W1 光學 3D 表面輪廓儀

SuperView W1 光學 3D 表面輪廓儀

 

SuperView W1 光學 3D 表面輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術為原理、結合精密 Z 向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面 3D 圖像,通過系統軟件對器件表面 3D 圖像進行數據處理與分析,并獲取反映器件表面質量的 2D、3D 參數,從而實現器件表面形貌 3D 測量的光學檢測儀器。

 

SuperView W1 光學 3D 表面輪廓儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C 電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS 器件等超精密加工行業及航空航天、國防軍工、科研院所等領域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據 ISO/ASME/EUR/GBT 四大國內外標準共計 300 余 2D、3D 參數作為評價標準。

一、產品功能

1) 一體化操作的測量與分析軟件,操作無須進行切換界面,預先設置好配置參數再進行測量,軟件自動統計測量數據并提供數據報表導出功能,即可快速實現批量測量功能。

2) 測量中提供自動多區域測量功能、批量測量、自動聚焦、自動調亮度等自動化功能。

3) 測量中提供拼接測量功能。

4) 分析中提供調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能,其中調整位置包括圖像校 平、鏡像等功能;糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能;濾波包括去除外形、標準濾波、過濾頻譜等功能;提取包括提取區域和提取剖面等功能。


5) 分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能,其

中粗糙度分析包括依據國際標準的 ISO4287 的線粗糙度、ISO25178 面粗糙度、ISO12781 平整度等全參數分析功能;幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能;結構分析包括孔洞體積和波谷深度等;頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能;功能分析包括 SK 參數和體積參數等功能。

6) 分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,設置分析模板,結合測量中提供的自動測量和批量測量功能,可實現對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數據的功能。

 

 

二、應用領域

對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。



三、性能特色

1 高精度、高重復性

1) 采用光學干涉技術、精密向掃描模塊和優異的 3D 重建算法組成測量系統,保證測量精度高;

2) 獨特的隔振系統,能夠有效隔離頻率 2Hz 以上絕大部分振動,消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,保障儀器在大部分的生產車間環境中能穩定使用,獲得極高的測量重復性;

2 一體化操作的測量分析軟件

1) 測量與分析同界面操作,無須切換,測量數據自動統計,實現了快速批量測量的功能;

2) 可視化窗口,便于用戶實時觀察掃描過程;

3) 結合自定義分析模板的自動化測量功能,可自動完成多區域的測量與分析過程;

4) 幾何分析、粗糙度分析、結構分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全;

5) 一鍵分析、多文件分析,自由組合分析項保存為分析模板,批量樣品一鍵分析,并提供數據分析與統計圖表功能;

6) 可測依據 ISO/ASME/EUR/GBT 等標準的多達 300 余種 2D、3D 參數。

3 精密操縱手柄

集成 X、Y、Z 三個方向位移調整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺平移、Z 向聚焦、找條紋等測量前工作。

4 雙通道氣浮隔振系統

既可以接入客戶現場的穩定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣的雙通道氣浮隔振系統,在無外接氣源的條件下也可穩定工作。

 

四、技術指標

1.技術規格表


 

 

最大視場

6*6

 

物鏡塔臺

3 孔手動

XY

位移平臺

尺寸

320×200

移動范圍

140×110

負載

10kg

控制方式

電動

水平調整

±5°手動

Z 

聚焦

行程

100

控制方式

電動

Z 向掃描范圍

10

Z 向分辨率

0.1nm

可測樣品反射率

0.5%~100%

粗糙度 RMS 重復性

0.005nm

臺階測量

準確度

重復性

0.75%

0.1% 1σ

注:粗糙度性能參數依據 ISO 25178 國際標準在實驗室環境下測量 Ra 0.2nm 硅晶片 Ra 參數獲得; 臺階高性能參數依據 ISO 25178 國際標準在實驗室環境下測量 4.7μm 臺階高標準塊獲得。

2.儀器尺寸(×寬×高):  主機:900×700×604 ㎜;

3.儀器主機重量:小于 90Kg;

4.使用環境:無強磁場,無腐蝕氣體

工作溫度:15℃ ~30℃,溫度梯度 < 1℃/15 分鐘相對濕度:5%-95%RH,無凝露

環境振動:VC-C 或更優

隔振氣源:0.6Mpa 穩壓清潔氣源,除油、除水,氣管直徑 6 ㎜

 

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